微製程實驗室
微製程實驗室是一個可以進行薄膜製程的等級1000無塵室，於2013年建置在跨領域大樓，2024年加入本院核心設施團隊。微製程室內提供各式金屬和氧化物材料鍍膜以及微奈米結構製作設備，並協助研究人員進行光電元件、量子元件、感測器、微流道等之開發。
設施位址：跨領域大樓六樓B2C03室
管理人員：應科中心 研究助技師 謝書宜博士
業務承辦：應科中心 郭家珠 小姐
連絡電話： (02) 2787-3140
設施網址：https://www.rcas.sinica.edu.tw/web/fac_MFL.html
服務對象：院內同仁、院外學術機構
服務範疇：微奈米元件薄膜製程
主要設備：
- 金屬電子束蒸鍍機
- 氧化物電子束蒸鍍機
- 熱蒸鍍機
- 交流/直流濺鍍系統
- 直流濺鍍機
- 感應耦合電漿蝕刻系統
- 曝光機
- 直寫機